X射線三維顯微鏡通過多角度射線掃描與斷層重建算法,生成樣品的內部結構圖像及三維模型,廣泛應用于微電子封裝、材料分析、生物醫學等領域。在圖像獲取與后處理環節中,所輸出的數據格式對于后續分析、可視化與建模具有重要作用。
通常情況下,X射線三維顯微鏡生成的數據類型主要包括以下幾類:
一類是原始投影圖像(Projection Images)。這些圖像記錄了樣品在不同旋轉角度下的透射信息,一般為灰度圖,常見格式為 .tif、.raw 或 .png。該類數據用于重建前的輸入,保留了射線穿透路徑的物理特征。
二類是體素重建數據(Volumetric Data)。通過重建算法處理后形成的三維圖像集合,表示為體積數據(Volume Data),常用格式包括 .vol、.raw、.vgi(VGStudio Max軟件格式)、.mhd(MetaImage)等。這類數據能進行任意剖面查看與三維可視化。
第三類是切片圖像(Reconstructed Slices)。體積數據可被分解為多個切片圖,常見格式為 .bmp、.tiff 或 .jpg,用于逐層觀察樣品內部結構,適合科研記錄與報告編寫。
四類是三維模型格式(3D Model Format)。部分軟件支持將重建結果輸出為表面模型或點云格式,便于在CAD或CAE工具中使用。常見的有 .stl、.obj、.ply,適用于結構仿真、測量或逆向工程。
五類是分析數據格式,包括測量報告(如缺陷體積、空洞比率、密度分布等),輸出形式可能為 .csv、.xml 或專用軟件格式,便于統計或導入其他平臺進行比對分析。
不同X射線三維顯微鏡設備對應的輸出格式可能因系統廠商而異,需結合所配套的軟件平臺與后處理工具進行兼容性評估。多數專業系統支持導出通用格式,便于跨平臺協作與后期處理。部分封閉式系統則需使用特定插件或數據轉換工具實現格式互通。
X射線三維顯微鏡的數據格式涵蓋圖像、體素、模型、報告等多個維度,具有高度的信息結構性與專業適配性。用戶在使用過程中,應關注格式與后續分析流程的契合度,確保數據有效、準確地應用于質量評估或研究分析場景。