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半導體封裝基板清洗機的主要工作原理是什么?

2024-05-27 10:32:41
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  半導體封裝基板清洗機的主要工作原理是通過一系列復雜的物理和化學過程,去除基板表面的污漬、雜質和殘留物,以確保半導體封裝過程的順利進行和產出產品的質量。以下是關于半導體封裝基板清洗機工作(zuo)原理的(de)詳細解釋:

  1.清洗液循環系統:清洗機首先通過清洗液循(xun)環系統(tong),利用泵將清(qing)(qing)洗液抽入噴(pen)嘴。這些噴(pen)嘴被(bei)設計(ji)成(cheng)能夠均勻地噴(pen)灑清(qing)(qing)洗液到待清(qing)(qing)洗的(de)半導體(ti)封裝基板上,以確保基板的(de)各(ge)個部分都能被(bei)有效地清(qing)(qing)洗。

  2.加(jia)(jia)熱(re)(re)系統(tong):為了(le)增(zeng)強清(qing)洗效果,清(qing)洗機配備了(le)加(jia)(jia)熱(re)(re)系統(tong)。加(jia)(jia)熱(re)(re)系統(tong)通過加(jia)(jia)熱(re)(re)管將清(qing)洗液加(jia)(jia)熱(re)(re)到適當的(de)溫度。這種加(jia)(jia)熱(re)(re)過程不(bu)僅可(ke)以(yi)提高(gao)清(qing)洗液的(de)活(huo)性,使其更容易(yi)與基板表面的(de)污漬發生反應,還可(ke)以(yi)加(jia)(jia)速(su)污漬的(de)溶(rong)解(jie)和(he)去除。

半導體封裝基板清洗機

  3.等(deng)(deng)離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)清(qing)洗技術:在某些高 級別的(de)半導體(ti)封裝基板(ban)清(qing)洗機中(zhong),還采用(yong)(yong)了等(deng)(deng)離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)清(qing)洗技術。這(zhe)種技術利(li)用(yong)(yong)等(deng)(deng)離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)(一(yi)種部(bu)分電離(li)(li)(li)(li)的(de)氣(qi)體(ti),由電子(zi)(zi)、離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)、自由基、光子(zi)(zi)及其(qi)他(ta)中(zhong)性粒子(zi)(zi)組成)與基板(ban)表面(mian)的(de)污漬發生(sheng)反應。等(deng)(deng)離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)中(zhong)的(de)活潑粒子(zi)(zi)(如電子(zi)(zi)、離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)和自由基)能(neng)夠與污漬發生(sheng)物理濺(jian)射或化學反應,從而將(jiang)其(qi)從基板(ban)表面(mian)去除(chu)。

  4.抽(chou)(chou)風系統(tong):為了保持清(qing)(qing)洗(xi)槽(cao)內的負壓環境,防止清(qing)(qing)洗(xi)液揮發(fa)出來(lai)的氣(qi)體污染空氣(qi),清(qing)(qing)洗(xi)機還配(pei)備(bei)了抽(chou)(chou)風系統(tong)。這個系統(tong)通過(guo)抽(chou)(chou)風口(kou)將槽(cao)內的空氣(qi)抽(chou)(chou)出,確保清(qing)(qing)洗(xi)過(guo)程(cheng)在(zai)一個相對封閉和清(qing)(qing)潔的環境中進行。

  綜上(shang)所述,半(ban)導體封裝(zhuang)(zhuang)基(ji)板清洗機的(de)工(gong)作原理涉及清洗液(ye)循環系(xi)(xi)統(tong)(tong)、加熱系(xi)(xi)統(tong)(tong)、等離子清洗技術和抽風系(xi)(xi)統(tong)(tong)等多(duo)個方面(mian)。這些(xie)系(xi)(xi)統(tong)(tong)協同(tong)工(gong)作,確保基(ji)板表面(mian)的(de)污漬(zi)和雜質能夠被(bei)基(ji)本(ben)去除(chu),為后續的(de)半(ban)導體封裝(zhuang)(zhuang)過(guo)程提供高質量的(de)基(ji)板。



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